10:08am
（中央社記者陳至中台北1日電）台灣大學接受國科會補助新台幣3億元，設置新的半導體製程無塵室，涵蓋解析度可達8奈米的電子束微影、奈米材料與半導體元件量測設備等，開放各校師生共享研發平台。
（中央社記者陳至中台北1日電）台灣大學接受國科會補助新台幣3億元，設置新的半導體製程無塵室，涵蓋解析度可達8奈米的電子束微影、奈米材料與半導體元件量測設備等，開放各校師生共享研發平台。
台灣大學今天舉行記者會，介紹半導體學院最新的先進半導體製程研究場域，一共有11台先進設備，主要支援8吋晶圓製程。
國科會半導體核心設施建置專案計畫辦公室召集人、暨南大學校長武東星表示，過去學界設備常被詬病跟不上時代，政府在全台各地支持設置7個半導體學院，台大是其中之一。他強調，計畫特點是雖然設在台大，但全台大學師生團隊只要對半導體研究有興趣，都可經由網站一站式申請。
台大重點科技學院院長吳志毅表示，以前台大不是沒有無塵室，只是分散各處，「這裡一些，那裡一些，沒有群聚效益。」經由國科會計畫支持3億元經費，加上校方挹注1億元，把整個半導體設備更新到可與國外名校競爭，支援各校半導體研究，共同培育人才。
根據台大提供的資訊，新建製的設備包括涵蓋解析度可達8奈米的電子束微影、原子層薄膜沉積與蝕刻、奈米材料與半導體元件量測設備等，提供從元件製作、製程開發到分析驗證的一站式服務。
台大已與台積電、力積電、鈺創、富采、瑞儀、群創、閎康等企業合作，產學合作金額達約8400萬元。主要研究議題包含先進半導體製程技術與設備開發、AI運算電子元件、矽光子與先進光電元件等，並與美國賓夕法尼亞大學共同推動跨國專題研究。（編輯：張銘坤）1151001
